3月26日至28日,上海国际半导体博览会SEMICON CHINA 2025正在上海新国际博览核心慎重实行。行动国内当先的晶圆传输装备供应商,泓浒(姑苏)半导体科技有限公司(以下简称“泓浒半导体”)携多款晶圆传输
为期三天的展会上,泓浒半导体展台热度一连火爆,吸引了繁多客户,业界专家、合营伙伴、投资人和行业媒体的驻足与体贴。做事职员向行家亲热先容公司情景和产物,分享前沿技能、相易名贵的行业体会,热闹考虑行业开展趋向。
个中,真空明净机械人-五轴单臂四Blade,可对应非发散型腔体同时高速变距搬运4片晶圆,实用于现时最进步的8~12腔大型真空工艺装备。
真空明净机械人-四轴双臂四Blade,可同时高速搬运4片晶圆,现已渊博使用于主流真空工艺治理计划。
真空明净机械人-三轴单臂双Blade,挽救半径幼,大批使用于紧凑尺寸打算的高真空工艺治理计划。
大气明净机械人-四轴双臂双翻转Blade,可对应晶圆翻转及360°全方位搬运,非常的拐点传输形式可应对更庞杂的场景需求。
与此同时,泓浒安身半导体晶圆传输机械人和传送装备,无间打磨机械人硬件及支配技能,与OHT、AMR等AMHS装备完整配套,共筑半导体晶圆传输自愿化资产链生态。
泓浒半导体创造于2016年,永远扎根于半导体传送装备与枢纽零部件规模,主业务务涵盖晶圆传输装备及部件、维修翻新、耗材及配件商业。正在逐鹿激烈的墟市境遇中,公司依靠一连更始的心灵和宏大的研发气力,无间赢得冲破性成效。2019年,公司率先完成Sorter(自愿倒片机)和EFEM的量产;2022年冲破SMIF(程序死板接口)和VTM技能壁垒;2023年,其自立研发的真空死板手臂实现量产工艺验证;2024年,重点部件量产交付。
目前,泓浒半导体已具有超200项自立学问产权,个中发现专利(已授权)达90项,发现专利(正正在受理和实审)超100项,软件著述权(已授权)达30项,适用新型/表观专利(已授权)达60项。其产物已供职超 100 家客户,涵盖硅片筑筑、集成电途筑筑、半导体封测、半导体装备等多个规模,搜罗中欣晶圆、华润微电子等著名企业。
近年来,国内厂商对半导体供应链安然注意水准无间抬高,局限 Fab 厂早先体贴装备厂商重点部件的国产化比例,同时国内晶圆厂的扩产也为国产装备零部件厂商带来了壮阔墟市空间。面临离间与机会,泓浒半导体相持将自立研发与更始行动企业开展的重点驱动力,高度注意技能攻闭和人才提拔。
泓浒半导体行动国度专精特新 “幼伟人” 企业和姑苏市 “独角兽” 教育企业,正在半导体晶圆传输装备规模深耕不辍,以更始驱动开展,为半导体资产高质地开展注入强劲动力。来日,泓浒半导体将络续秉持初心,正在晶圆传输装备和零部件规模无间探求更始,追求新冲破,为饱舞半导体装备国产化过程功劳更多气力。